洁净空间净化工程九大组成——无尘车间生产厂家
作者：无尘车间生产厂家 来源：无尘车间生产厂家 日期：2021/4/17 15:05:02 人气：1425
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。（风淋室厂家）随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。洁净空间净化工程九大组成——无尘车间生产厂家小编来为大家娓娓道来：一： 围护结构系统：简单说是顶、墙、地三部分，即组成三维密闭空间的六个面。往细的说包括门窗、装饰圆弧等二： 电气系统： 照明、动力、弱电三部分，包括净化灯具、插座、电气柜、线路、监控、电话等强弱电系统；三： 风管系统：包括送风、回风、新风、排风管道（净化工程）、末端及控制装置等；四： 空调系统：包括冷（热）水机组（包括水泵、冷却塔等）（或风冷管道机级等），管路、组合式净化空调箱（包括混流段、初效段、加热/制冷段、除湿段、加压段、中效段、静压段等）；五： 自控系统：包括温度控制、温度控制、风量风压控制、开启顺序和时间控制等；六： 给排水系统：给水、排水管道、设施及控制装置等；七： 空气过滤系统：初中高效过滤器等;八： 洁净地面：一般采用环氧树脂洁净地面。九： 其他净化设备：如臭氧、紫外线灯、风淋（包括货淋）、传递窗、超净工作台,互联锁等净化辅助设备。我司服务： 不锈钢风淋室 http://www.jfyjh.com 
